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Gamma 离子泵
离子泵，也就是通常所讲的溅射离子泵或离子吸气泵，是使用阳极/阴极阵列离子化气体的一种捕集泵。离子溅射激活阴极材料，产生化学反应，将电离的气体转化成固态化合物，从而降低真空系统压力，化合物被永久性捕集在离子泵内。离子泵的极限真空为10-5 ~ 10-12 mbar，抽速为0.2 ~ 1200 l/s（N2）。
性能特点
• 无机械振动：泵上没有运动部件，消除了运动部件产生的振动和电气噪声
• 抗辐射性强：泵、连接器和电缆均采用能够承受超过108Gray的抗辐射材料，可长期持续工作。
• 耐高温：无特殊考虑时，泵可加热至250°C，取下磁体可加热至450°C。UHV泵需长时间加热烘烤。
• 无需日常维护：几乎无需维护。由于与大气完全隔绝，因此可以避免产生成本高昂的真空故障，从而节省了时间、成本和资源。
• 初始成本和运营成本低：初始成本通常低于同类规格的其他类型真空泵。它们尽可能少地耗费功率或完全不耗费功率，以实现多年以来的低成本操作。
技术指标
a: 2V（2英寸顶部端口），2H（2英寸侧端口），2D（双端口，顶部和侧部）
b: 4V（4英寸顶部端口），4D（4英寸顶部端口和2 英寸侧端口）
c: 6S（单个6英寸端口），62（6英寸顶部端口和2英寸侧端口），6D（6英寸双端口，顶部和底部），
6P（6英寸顶部端口和8英寸侧端口）
d: 8S（单个8英寸端口），8D（8英寸双端口，顶部和底部），8P（8英寸双端口，顶部和侧部）；
e: 需要额外的侧端口或底部端口
f: 已取下磁体。
*最大可提供1200 ls-1的离子泵，详情联系我公司销售人员。
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