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AIGX 电离真空规
紧凑型有源电离真空规（AIGX）配备两根涂铱的钇灯丝，测量范围极广，从6.6×10-2到6.6×10-10mbar（5×10-2到5×10-10Torr），并且能提供1V/位线性输出。
Edwards的新型AIGX真空规集工业级有源真空规所有优点于一身，同时集成了电子器件，实现了规管可更换。该真空规有脱气功能，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
AIGX得益于极低的带电微粒发射，使它成为不能有背景噪声的工艺流程的最佳选择。
性能特点
• 全8位测量功能，可达6×10-10mbar（5×10-10Torr）
• 有两种款型，每种又有三种真空接口
• D型为9针D接头，标准接口
• 与主要竞争对手相比，带电粒子污染减少了30%
• 自动防止在大气条件下打开灯丝，在高压下运行或脱气
性能曲线
几何尺寸
技术指标
| 测量范围 | 6.6×10-2~6.6×10-10mbar （5×10-2~ 5×10-10Torr） |
|---|---|
| 电源 | +14.5~+30.0V DC |
| 功耗 | 正常工作：≤7W 脱气：≤14W |
| 输出信号 | 线性，1V/位 |
| 响应时间 | 1.33×10-8mbar（>10-8Torr）：100 ms 1.33×10-8mbar（<10-8Torr）：1~2s |
| 最大电压 | 30V DC |
| 最大电流 | ≤100mA |
| 工作温度 | 0~ +40°C |
| 存储温度 | -30~+70°C |
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| D04860000 | AIGX-D-NW25 |
| D04861000 | AIGX-D-DN16CF |
| D04862000 | AIGX-D-DN40CF |
| D04850000 | AIGX-S-NW25 |
| D04851000 | AIGX-S-DN16CF |
| D04852000 | AIGX-S-DN40CF |
| D04850805 | AIGX 保险，5件装 |
| D04850801 | AIGX 规管 NW25 |
| D04851801 | AIGX 规管 DN16CF |