性能曲线

几何尺寸

技术指标

入口法兰 DN160ISO-K,DN160CF
出口法兰 KF25
抽速
N2 400l/s
He 390l/s
H2 325l/s
压缩比(D/T)
N2 >1×1011
He 1×108/1×108
H2 5×105/1×106
极限真空(ISO/CF,RV前级泵) <6×10-8/<5×10-10 mbar
前级真空要求(D/T) 10/20 mbar
推荐前级泵* RV12/nXDS10i
放气口/吹扫口 1/8英寸BSP母螺纹
重量(D/T) 6.5/6.8kg,9.5/9.8kg
最大连续入口流量(氮气)†
水冷 105sccm(水温15°C,环境温度40°C)
空冷 90sccm(环境温度35°C)
泵转速
标称转速 60000rpm
待机转速 33000~60000rpm可调(缺省42000 rpm)
功率范围 50~200W可调 (缺省160W)
90%启动时间(D/T) 175s/200s(160W)
模拟输出 泵转速、功耗、泵温度、控制温度
冷却方式 空冷/水冷(单独订购)
空冷环境温度 5~35°C
最小水冷流速 15l/ h(15°C的水)
水温范围 10~20°C
入口法兰最高温度 70°C
工作姿态 垂直、水平(±2°)
噪声(1m处) <45±3 dB(A)
最大耐受磁场 5mT
推荐控制器 TIC200涡轮仪表控制器
稳态功耗 20W

订货信息

货号 描述
B83200300 nEXT400D涡轮分子泵:ISO100,160W
B83200301 nEXT400D涡轮分子泵:ISO100,80W
B83200400 nEXT400D涡轮分子泵:CF100,160W
B83200401 nEXT400D涡轮分子泵:CF100,80W
B83300300 nEXT400T涡轮分子泵:HC,ISO100,160W
B83300301 nEXT300T涡轮分子泵:HC,ISO100,80W
B83300400 nEXT400T涡轮分子泵:HC,CF100,160W
B83300401 nEXT400T涡轮分子泵:HC,CF100,80W
D39722000 TIC涡轮仪表控制器:200W、RS232
B58053175 nEXT径向风扇
B58053170 nEXT径向风扇,带泵驱动接头
B80000815 nEXT 水冷组件
B80000812 油盒工具组件
B80000805 轴承工具组件
B80000811 油盒
B80000810 轴承和油盒