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nEXT300 涡轮分子泵
nEXT300分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，有ISO100和CF100两种入口法兰接口，对N2的抽速为300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术，上轴承为永久性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并改进转子设计，使其更加有效地实现分子拖曳行程，最终提高抽速和压缩比，同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机，内置驱动，与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种最大预设功率可选，前者可使用100W TIC控制器，适用于抽氩气，但在该功率下达到满转速的加速时间较长。
基本的分子泵系统通常由nEXT300泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能曲线
几何尺寸
技术指标
| 入口法兰 | DN100ISO-K，DN100CF |
|---|---|
| 出口法兰 | KF25 |
| 抽速 | |
| N2 | 300l/s |
| He | 340l/s |
| H2 | 280l/s |
| 压缩比（D/T） | |
| N2 | >1×1011 |
| He | 1×106/3×106 |
| H2 | 5×104/1×105 |
| 极限真空（ISO/CF，RV前级泵） | <6×10-8/<5×10-10 mbar |
| 前级真空要求（D/T） | 9.5/20 mbar |
| 推荐前级泵* | RV12/nXDS10i |
| 放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 |
| 重量（D/T） | 5.7/6kg，8.5/8.8kg |
| 最大连续入口流量（氮气）† | |
| 水冷 | 95sccm（水温15°C，环境温度40°C） |
| 空冷 | 115sccm（环境温度35°C） |
| 泵转速 | |
| 标称转速 | 60000rpm |
| 待机转速 | 33000~60000rpm可调（缺省42000 rpm） |
| 功率范围 | 50~200W可调 （缺省160W） |
| 90%启动时间（D/T） | 115s/175s（160W） |
| 模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温度 |
| 冷却方式 | 空冷/水冷（单独订购） |
| 空冷环境温度 | 5~35°C |
| 最小水冷流速 | 15l/ h（15°C的水） |
| 水温范围 | 10~20°C |
| 入口法兰最高温度 | 80°C |
| 工作姿态 | 垂直、水平（±2°） |
| 噪声（1m处） | <45±3 dB(A) |
| 最大耐受磁场 | 5mT |
| 推荐控制器 | TIC200涡轮仪表控制器 |
| 稳态功耗 | 20W |
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| B82200100 | nEXT300D涡轮分子泵：ISO100，160W |
| B82200101 | nEXT300D涡轮分子泵：ISO100，80W |
| B82200200 | nEXT300D涡轮分子泵：CF100，160W |
| B82200201 | nEXT300D涡轮分子泵：CF100，80W |
| B82300100 | nEXT300T涡轮分子泵：HC，ISO100，160W |
| B82300101 | nEXT300T涡轮分子泵：HC，ISO100，80W |
| B82300200 | nEXT300T涡轮分子泵：HC，CF100，160W |
| B82300201 | nEXT300T涡轮分子泵：HC，CF100，80W |
| D39722000 | TIC涡轮仪表控制器：200W、RS232 |
| B58053175 | nEXT径向风扇 |
| B58053170 | nEXT径向风扇，带泵驱动接头 |
| B80000815 | nEXT 水冷组件 |
| B80000812 | 油盒工具组件 |
| B80000805 | 轴承工具组件 |
| B80000811 | 油盒 |
| B80000810 | 轴承和油盒 |