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Gamma 钛升华泵（TSP）
钛升华泵（TSP）的工作原理是加热钛灯丝，升华钛分子到灯丝表面，从固相转变到气相，与O2、N2等活性气体产生化学反应，同时以扩散方式来吸附游离的H2。钛升华泵的极限真空为10-5 ~ 10-12 mbar，抽速大于10000 l/s（H2）。
钛升华泵 (TSP) 通常与离子泵组合使用，亦可单独使用，用于去除真空环境中的反应气体。与离子泵组合后，TSP可在更短的时间内达到高极限真空。所有TSP部件均可加热至400˚C。
性能特点
• TSP灯丝支架
灯丝支架安装在2-3/4英寸CFF (DN40)法兰上。真空电极支持三个钛钼灯丝，以及一条用于接地隔离的回路。每个灯丝均包含1.5g钛，平均工作时间为20h。
• 液氮低温护罩
液体低温护罩采用双层304L型不锈钢，带有两个Φ0.375英寸的液氮穿通件(配备外凸式液氮接口)，可提供1578cm2 (245平方英寸)的液氮冷却表面积，氢气抽速高达12000ls-1，安装接口为8英寸CFF (DN160)。
• 常温溅射护罩
当冷却不切实际或不可行时，常温溅射护罩能够以经济的方式将冷却表面积最大化，可提供827 cm2 (128平方英寸)的常温冷却表面积，氢气抽速高达2200ls-1，安装接口为8英寸CFF (DN160)或6英寸CFF (DN100)。
技术指标
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| G360819 | TSP支架，3灯丝，2-3/4英寸CFF |
| G360190 | TSP常温溅射护罩，6英寸CFF |
| G360044 | TSP常温溅射护罩，8英寸CFF |
| G360051 | TSP液氮低温护罩，8英寸CFF |
| MSHC1MS | 1.5m电缆，MS接头 |
| MSHC3MS | 3m电缆，MS接头 |
| MSHC6MS | 6m电缆，MS接头 |
| MSHC10MS | 10m电缆，MS接头 |