性能特点

• 适用于 0.01 ~ 50 mbar压力范围的超过 3000 m3/h的高抽速应用。

• 工作在相对较低的压力下,高度可靠。

• 高质量、无油。

• 无振动、安静。

• 抗腐蚀、耐用。

应用领域

• 半导体工艺

• 真空蒸馏

• 真空包装

• 脱气

• 镀膜