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EH机械增压泵

EH 机械增压泵采用罗茨泵原理,是一款很受用户欢迎的真空泵,适用于0.01~10 mbar范围的高速应用。该泵必须与能提供相对于大气的高压差的其它泵(作为前级泵)配合使用。
机械增压泵工作在相对较低的压力下,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性工艺介质下,因此高度可靠。
性能特点
• 适用于 0.01 ~ 50 mbar压力范围的超过 3000 m3/h的高抽速应用。
• 工作在相对较低的压力下,高度可靠。
• 高质量、无油。
• 无振动、安静。
• 抗腐蚀、耐用。
应用领域
• 半导体工艺
• 真空蒸馏
• 真空包装
• 脱气
• 镀膜