On-Board水泵系统

• 降低基本压力时间50％至75％

• 通过减少蒸气的存在和减少污染来提高产量，无需选择闸阀就可选择性控制水蒸气的温度控制

• 低成本的安装和操作

• 无需冷的制冷剂管路即可远程定位压缩机

• CTI Cryogenics的冷冷却技术在苛刻的应用中已被证明清洁和可靠超过20年

• 先进的机载控制系统，用于过程优化和监控，预测性维护，网络化泵管理以及易用性

• 与其他车载泵的兼容性，包括通用用户界面，压缩机和通信协议

真空的可用时间就是工艺的最长运行时间

由于真空腔室内壁表面吸附的水是慢慢解吸出来的，所以在低于10^-3Torr的压力下水蒸气含量在残余气体负载中超过97%。因此水就成为达到本底压力的主要障碍并且在许多工艺中水会妨碍化学性能影响产出。为了最大化工艺产能产出，优化水蒸气抽速是非常重要的。

On-Board水泵是配合分子泵、扩散泵及低温泵工艺增加水蒸气抽速的经济有效途径。它们可以显著减少抽底压的时间从而实现更高产能。同时它们也能减少工艺腔室中的水蒸气含量从而提高工艺性能。

107K的低温运行可实现水蒸气分压力达10^-13Torr。可以全抽速直达10^-11Torr,在超高真空应用中同样适用。客户可设定运行温度，可选择型抽除水汽。例如，溅射气体不会被抽走，并且无需昂贵的隔离阀。

0n-Board水泵拥有全部On-Board低温泵的独一无二的产能增强特性，通过综合计算机监测及控制技术使其成为可能。如同On-Board低温泵一样，他们可以完全集成在真空系统中。事实上，它们运用的是相同的用户接口、压缩机硬件、和通讯硬件及协议。

Inline的结构形式

用于与分子泵或扩散泵串联连接以提高水蒸气抽速，或作为冷障板的大通导替代品。中空管状冷面设计使泵与腔室之间的流导最大化。

In Situ结构形式

用于安装在工艺腔、过度腔或载入载出腔室，通过大表面积来实现水蒸气抽速最大化。各种标准冷面可选，也可以为特殊应用提供非标设计。

LowProfile结构形式

用于需要大水蒸气抽速且要维持紧凑结构的应用。LowProfile水泵可以提高水蒸气抽速近5倍。简单紧凑的结构是分子泵抽气工艺的理想选择。泵口安装法兰可选ISO接口或金属密封接口，ISO接口仅1″（25mm）厚，金属密封法兰也只有1.55″（39mm）厚。