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nEXT85涡轮分子泵
nEXT85型分子泵是成熟产品EXT75DX型分子泵的升级产品,技术性能进一步提升,外形进一步简洁美观。
涡轮重新整体设计,以达到优化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下,即能达到更高转速,又能实现更高压缩比。
nEXT85性分子泵的工作性能和服务扩大了nEXT分子泵的应用范围,实现了智能安装、现场服务,成为真正的领先产品。
性能曲线
几何尺寸
技术指标
nEXT85 DN40 | nEXT85 DN63 | |
---|---|---|
抽速 | ||
N2 | 47 | 84 |
He | 61 | 78 |
H2 | 49 | 60 |
Ar | 44 | 80 |
压 缩 比 | ||
N2 | >1011 | >1011 |
Ar | >1011 | >1011 |
He | 8×106/2×107(D/H) | 8×106/2×107(D/H) |
H2 | 2×105/5×105(D/H) | 2×105/5×105(D/H) |
极限真空(mbar) | ISO:<5×10-9,CF:<5×10-10 | ISO:<5×10-9,CF:<5×10-10 |
前级真空要求(mbar) | 18 | 18 |
入口法兰 | NW40 | ISO63或CF63 |
出口法兰 | KF16 | KF16 |
推荐前级泵* | RV5/nXDS6i | RV5/nXDS6i |
放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | 1/8英寸BSP母螺纹 |
重量(kg) | 3 | 3/4.5 |
90%转速启动时间 | 80W:130s,120W:90s | 80W:130s,120W:90s |
工作转速 | 90000rpm | 90000rpm |
入口最高温度 | 120℃ | 120℃ |
噪声(1m处) | <34dB(A)±2.5 | <34dB(A)±2.5 |
最大耐受磁场 | 3.5mT | 3.5mT |
工作姿态 | 垂直、水平(±2°) | 垂直、水平(±2°) |
冷却方式 | 空冷/水冷(单独订购) | 空冷/水冷(单独订购) |
电源 | 24V-48VDC | 24V-48VDC |
工作最高海拔 | 2000m | 2000m |