EDWARDS产品 > 分子泵 > STP系列磁悬浮涡轮分子泵 > STP超高真空涡轮分子泵
STP301 涡轮分子泵
STP301涡轮分子泵常用于电子显微镜和半导体应用，领先的转子技术成就了Edwards分子泵在绝大多数工艺流程中一流的性能。STP301已为业内所认可，广泛应用于科学仪器、半导体和磁介质行业的设备研发与制造。
STP分子泵入口有筛网。
使用时通常需要订购STP泵、控制器、连接电缆以及电源线。
性能特点
• 领先的转子技术
• 适合于绝大多数工艺流程
•无油
• 低振动
• 高可靠性
应用领域
• 金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜
• 溅射
• 离子注入源、射线束泵送端点站
性能曲线
几何尺寸
技术指标
| 入口法兰 | ISO100、CF100 |
|---|---|
| 前级抽气口 | KF25 |
| 抽速 N2/ H2 | 300/300l/s |
| 压缩比 N2/H2 | >108/>2×104 |
| 极限真空（加热） （VG/ISO 法兰） | 6.5×10-6 Pa |
| 极限真空（加热） （ICF 法兰） | 10-8 Pa |
| 进口最大允许压力 （空冷） | 0.066Pa |
| 前级允许压力 （空冷） | 13Pa |
| 额定转速 | 48000rpm |
| 启动时间 | 3min |
| 入口法兰允许温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 200~240 V （± 10%）AC |
| 启动功耗 | 0.55kVA |
| 泵重 | 11 kg |
| 控制器重 | 7kg |
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| B74830020 | STP301涡轮分子泵 进口ISO100 出口KF25 |
| B74831010 | STP301涡轮分子泵 进口DN100CF |
| B74871000 | STP301C涡轮分子泵 进口ISO100 出口KF25 |
| B74871010 | STP301C涡轮分子泵 进口ISO100 |
| B74872000 | STP301C涡轮分子泵 进口ISO100 出口KF40 |
| B74881010 | STP301C涡轮分子泵 进口DN100CF |
| YT21ZOZ01 | SCU-350控制器 |
| YT21CA001 | STP301/451水冷环 |
| YT011A005 | STP301/451/603/1003空冷 200-240 VAC |
| B70700010 | STP控制电缆，3m |