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nEXT400 涡轮分子泵
nEXT400分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO160和CF160两种入口法兰接口,对N2的抽速为400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,最终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机,内置驱动,与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种最大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。
基本的分子泵系统通常由nEXT400泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能曲线
几何尺寸
技术指标
入口法兰 | DN160ISO-K,DN160CF |
---|---|
出口法兰 | KF25 |
抽速 | |
N2 | 400l/s |
He | 390l/s |
H2 | 325l/s |
压缩比(D/T) | |
N2 | >1×1011 |
He | 1×108/1×108 |
H2 | 5×105/1×106 |
极限真空(ISO/CF,RV前级泵) | <6×10-8/<5×10-10 mbar |
前级真空要求(D/T) | 10/20 mbar |
推荐前级泵* | RV12/nXDS10i |
放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 |
重量(D/T) | 6.5/6.8kg,9.5/9.8kg |
最大连续入口流量(氮气)† | |
水冷 | 105sccm(水温15°C,环境温度40°C) |
空冷 | 90sccm(环境温度35°C) |
泵转速 | |
标称转速 | 60000rpm |
待机转速 | 33000~60000rpm可调(缺省42000 rpm) |
功率范围 | 50~200W可调 (缺省160W) |
90%启动时间(D/T) | 175s/200s(160W) |
模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温度 |
冷却方式 | 空冷/水冷(单独订购) |
空冷环境温度 | 5~35°C |
最小水冷流速 | 15l/ h(15°C的水) |
水温范围 | 10~20°C |
入口法兰最高温度 | 70°C |
工作姿态 | 垂直、水平(±2°) |
噪声(1m处) | <45±3 dB(A) |
最大耐受磁场 | 5mT |
推荐控制器 | TIC200涡轮仪表控制器 |
稳态功耗 | 20W |
订货信息
货号 | 描述 |
---|---|
B83200300 | nEXT400D涡轮分子泵:ISO100,160W |
B83200301 | nEXT400D涡轮分子泵:ISO100,80W |
B83200400 | nEXT400D涡轮分子泵:CF100,160W |
B83200401 | nEXT400D涡轮分子泵:CF100,80W |
B83300300 | nEXT400T涡轮分子泵:HC,ISO100,160W |
B83300301 | nEXT300T涡轮分子泵:HC,ISO100,80W |
B83300400 | nEXT400T涡轮分子泵:HC,CF100,160W |
B83300401 | nEXT400T涡轮分子泵:HC,CF100,80W |
D39722000 | TIC涡轮仪表控制器:200W、RS232 |
B58053175 | nEXT径向风扇 |
B58053170 | nEXT径向风扇,带泵驱动接头 |
B80000815 | nEXT 水冷组件 |
B80000812 | 油盒工具组件 |
B80000805 | 轴承工具组件 |
B80000811 | 油盒 |
B80000810 | 轴承和油盒 |