nEXT 分子泵泵组

nEXT分子泵泵组采用领先技术，提供完整的真空获得方案，安装简单，易于操作。安装有TIC涡轮仪表控制器，实现控制面板开机/停机，兼容Edwards真空规。nEXT泵组是以前泵组产品的升级，其主体为抽速47l/s~400l/s的涡轮分子泵，再配备前级泵、控制器、放气阀等辅件形成简洁的利于用户使用的高真空抽气系统。

对于抽速47l/s~84l/s，使用性能可靠的nEXT85H涡轮分子泵，前级泵可选择油泵或干泵，并配有TIC100涡轮仪表控制器。

对于抽速240l/s~400l/s，使用nEXT涡轮分子泵，大大提高最终用户的可维修性，并配有前级泵和TIC200涡轮仪表控制器。

nEXT 涡轮分子泵泵组如选用E2M1.5或RV型机械真空泵作为前级泵，前级泵上安装有相应的EMF油雾过滤器；如选用性能出色、技术领先的nXDS型涡旋干泵作为前级泵，则在分子泵和前级泵之间标配有电磁隔断阀。

泵组使用4个带锁角轮，带有工作台安装组件，采用空冷。