性能曲线

几何尺寸

技术指标

nEXT85 DN40 nEXT85 DN63
抽速
N2 47 84
He 61 78
H2 49 60
Ar 44 80
压 缩 比
N2 >1011 >1011
Ar >1011 >1011
He 8×106/2×107(D/H) 8×106/2×107(D/H)
H2 2×105/5×105(D/H) 2×105/5×105(D/H)
极限真空(mbar) ISO:<5×10-9,CF:<5×10-10 ISO:<5×10-9,CF:<5×10-10
前级真空要求(mbar) 18 18
入口法兰 NW40 ISO63或CF63
出口法兰 KF16 KF16
推荐前级泵* RV5/nXDS6i RV5/nXDS6i
放气口/吹扫口 1/8英寸BSP母螺纹 1/8英寸BSP母螺纹
重量(kg) 3 3/4.5
90%转速启动时间 80W:130s,120W:90s 80W:130s,120W:90s
工作转速 90000rpm 90000rpm
入口最高温度 120℃ 120℃
噪声(1m处) <34dB(A)±2.5 <34dB(A)±2.5
最大耐受磁场 3.5mT 3.5mT
工作姿态 垂直、水平(±2°) 垂直、水平(±2°)
冷却方式 空冷/水冷(单独订购) 空冷/水冷(单独订购)
电源 24V-48VDC 24V-48VDC
工作最高海拔 2000m 2000m