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IGC 电离规控制器
Edwards电离真空规控制器(IGC)提供运行一个或两个离子规探头所需的所有电源、控制和信号调节。当与Edwards TIC仪表控制器相连时,用户可以从TIC面板直接控制电离真空规,包括自动发射电流选择和与其它真空规联锁等功能。
除此之外,可将IGC PCSP(并行指令和站端口)直接连接到控制系统(例如PLC),使OEM或系统开发商可以直接访问控制输入和信号输出。
性能特点
• 电子束脱气型测量范围宽,从5×10-3到2×10-11mbar
• 探头有多种选择,包括电子束脱气,裸露或玻璃密封,钨灯丝或涂钍铱灯丝
• 灵活的电缆系统,电离真空规电缆长2m和3m,包括可加热型。有源真空规电缆可以连接IGC和TIC仪表控制器,最长100m
• 通过辅助低真空规实现真空联锁,以保护电离规免于在高压下发生意外操作。它可以通过与IGC或TIC仪表控制器相连的有源皮拉尼或热电偶真空规进行联锁
• 比率测量系统具有更高的测量精度,并允许软件启动灯丝,更好地保护灯丝
几何尺寸
技术指标
电源 | |
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输入电压 | 90~265V AC |
输入频率 | 45~70Hz |
主电源插座 | IEC 320 |
工作温度范围 | 10~50°C |
存储工作范围 | -20~ +70°C |
相对湿度(非冷凝) | 10~90% |
符合标准 | |
电子设计 | EN 61010-1 |
电磁兼容性 | EN 61326(B级发射) |
机箱等级 | IP20 |
电子束脱气 (EBEAM) | 5×10-3~2×10-11mbar |
电子束脱气 (EBEAM) | 1~10V DC,对数 |
发射电流 | 0.1、1.0或10mA (可选择) |
灯丝电源 | |
电压 | ≤8V DC |
电流 | ≤5A |
功率 | ≤40W |
脱气功率/ 电子束 (EBEAM) | ≤60W(可调整) |
PCSP接口 | 有源低电压(小于 3 V),增加内部上拉电阻 (150k W)后至28V |
连接 | |
PCSP接口插座 | 15路母螺纹D型 |
TIC接口插座 | 8路FCC68/RJ45插座 |
电离真空规插座 | 7路环形多电极 |
尺寸 | |
无机架安装套件 | 203×87×273mm |
有机架安装套件 | 半19"机架,2U |
重量 | 1.8kg |
订货信息
货号 | 描述 |
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D04846000 | IGC EBEAM,2头,PCSP |
D04847000 | IGC EBEAM,2头 |
D04830301 | 半19"机架孔装套件 D04830302 |
D04830302 | 半19"机架连接套件 |
D02999390 | IG管 Ebeam DN40CF,氧化钍 |
D02999380 | IG管 Ebeam DN40CF,钨 |
D04830300 | IGC机架安装套件 |