性能特点

• 更高抽速(N2)- 730 l/s、925 l/s

• 360°任意角度安装

• TIC 控制器可同时控制分子泵和三路真空规管

• 维护间隔长,用户可自主维护

• 设计灵活,满足OEM定制需求

性能曲线

几何尺寸

技术指标

930D
入口法兰 ISO200, CF200
出口法兰 KF25
抽速
N2 925 1/s
Ar 865 1/s
He 9051/s
H2 735 1/s
漏率(mbar. 1/s)
N2 14 1/s
Ar 3.5 1/s
He 21 1/s
H2 >>14
压缩比
N2 >1×1011
Ar >1×1011
He 1.2×108
H2 4.0×106
极限真空 <3.5×10-9 /<6×10-10mbar
前级真空压力 15mbar
额定转速 49200 min-1
启动时间 2.5min
功率范围 40~400w
冷却标准 对流
冷却方式 空冷/水冷
最小水冷流速 60 1/h
允许冷却水压力 6bar(g)
水温范围 15~35℃
重量 15.4kg ,21.7kg
噪音 <52 ±2 dB(A)
烘烤期间的进气法兰允许最高温度(水冷) 100℃
可处理气体流量 0.4mbar.1/s ,24sccm
放气口/吹扫口 G 1/8″

订货信息

货号 描述
B8K200D00 nEXT 930D涡轮分子泵:NW25 ISO-K 200
B8K200F00 nEXT 930D涡轮分子泵:NW25 CF200