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IS 1000压缩机
IS-1000压缩机将在与9600压缩机相同的空间内支持多达六个车载IS-8F低温泵。IS-2000V压缩机-通过结合更高的压力，旋转技术和适应SEMI S-23目标的适应性氦气输送，在所有运行阶段提供最低的能耗。IS-2000V取代了两台车载IS-1000压缩机。这款高容量氦气压缩机旨在支持车载IS低温泵应用。集成的低温泵功率变频器可确保所有Brooks真空泵在50 Hz和60 Hz应用中均具有最佳低温泵性能。
性能特点
• 智能高效压缩技术，根据工艺负载变化适时分配氦流量
•更大的优化系统的氦气供应量，氦气供应量是9600压缩机的1.7倍
•使用方便，三年免维护运行
•支持远程控制，便于压缩机异地安装时的操作
•每台压缩机可带单台或多台泵
•几乎和9600压缩机一样占地尺寸
•GUTS®支持（保证正常运行时的支持）
技术指标
| 工作电压（3相） | |
|---|---|
| 低压泵 | 180-253VAC |
| 高压泵 | 360-506VAC |
| 电机功率 | |
| 低压泵 | 5.8KW |
| 高压泵 | 5.2KW |
| 冷却水 | 1 GPM到4 GPM |
| 重量 | |
| 低压泵 | 95kg |
| 高压泵 | 101kg |
| 尺寸 | 587mm×494mm×542mm |
几何尺寸
