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VIV电磁阀
VIV电磁隔离阀是一种高流导（11–126 l/s）、快速动作（<0.1 s）的高真空隔离阀。它可用于防止蒸汽或颗粒从前级泵反流回工艺腔体，并且在电源故障时，能够防止工艺腔体破空。单向交流电压和24 V直流电压可供选择，适用于大多数应用。
可推荐使用VIV阀的前级泵有nXDS、XDS、nXLi和nXRi等干式前级泵。当VIV阀关闭时，前级泵能够安全破空。当前级泵停止或被停止时，VIV阀能够保护工艺腔体不被破空。当前级泵重新启动时，当VIV阀内的压力下降（<200 mbar）时，阀门将缓慢（<15 s）打开，从而将任何压力突然变化的影响降至最低。
性能特点
• 高导通
• 快速关闭
• 防止在电源故障的情况下导致工艺室排气
• 可防止蒸汽或微粒从底泵移至工艺室
几何尺寸
技术指标
| VIV25EKA | VIV40EKA | VIV50EKA | ||
|---|---|---|---|---|
| 法兰类型 | NW25 | NW40 | NW50 | |
| 工作压力范围 | 1x10-8 to 1000mbar | 1x10-8 to 1000mbar | 1x10-8 to 1000mbar | |
| 分子导通率 | 11ls-1 | 30.5ls-1 | 126ls-1 | |
| 压差 | ||||
| 关闭状态 | >200mbar | >200mbar | >200mbar | |
| 打开状态 | >200mbar | >200mbar | >200mbar | |
| 密封性 | 阀体 | <1×10-9mbar l s-1 | <1×10-9mbar l s-1 | <1×10-9mbar l s-1 |
| 阀座 | <1×10-5mbar l s-1 | <1×10-5mbar l s-1 | <1×10-5mbar l s-1 | |
| 先导阀 | <1×10-7mbar l s-1 | <1×10-7mbar l s-1 | <1×10-7mbar l s-1 | |
| 切换时间 | 开启 | <15*s | <15*s | <15*s |
| 关闭 | <0.1s | <0.1s | <0.1s | |
| 响应 | <0.05s | <0.05s | <0.05s | |
| 材料 | 阀体 | 铝 | 铝 | 铝 |
| 材料 | 密封 | 氟橡胶 | 氟橡胶 | 氟橡胶 |
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| A50637500 | VIV25EKA电磁阀 24V DC |
| A50637501 | VIV25EKA电磁阀 100-115V AC |
| A50637502 | VIV25EKA电磁阀 208-230V AC |
| A50637510 | VIV40EKA电磁阀 24V DC |
| A50637511 | VIV40EKA电磁阀 100-115V AC |
| A50637512 | VIV40EKA电磁阀 208-230V AC |
| A50637520 | VIV50EKA电磁阀 24V DC |
| A50637580 | VIV阀连接盒 C13/C14 100-230V 50/60Hz |
| A50637392 | VIV阀电源线 |
| A50637590 | VIV阀连接盒 C19/C20 100-230V 50/60Hz |