ECAL1真空校准系统

Edwards ECAL1真空校准系统采用比较法原理，通过标准真空规来计量校准被校准真空规，以确保被校准真空规测量数据的准确可靠。

ECAL1真空校准系统由真空系统和标准真空规组成。真空系统由真空抽气系统、校准腔室、管件等组成。真空抽气系统基于T-Station 85H涡轮分子泵系统，完成全自动抽真空控制，为校准腔室提供稳定可靠的真空环境。校准腔室为类球形，被校真空规和标准真空规安装在真空腔室的同一水平高度，确保校准结果可信。标准真空规为电容薄膜规。TIC真空仪表控制器显示标准真空规、被校真空规的真空数值。