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STPH301C 涡轮分子泵
Edwards的高性能STPH301C涡轮分子泵是为最苛刻的半导体应用而设计的。该泵性能领先、运行可靠，成就了它在绝大多数工艺流程中一流的性能。
STPH301C已为业内所认可，广泛应用于半导体和磁介质行业的设备研发与制造。
性能特点
• 领先的转子技术
• 高通气量
• 适合于绝大多数工艺流程
• 无油
• 低振动
应用领域
• 金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜
• 溅射
• 离子注入源、射线束泵送端点站
性能曲线
几何尺寸
技术指标
| 入口法兰 | ISO100K |
|---|---|
| 前级抽气口 | KF40 |
| 吹扫口 | KF10 |
| 水冷安装 | PT1/4 |
| 抽速 N2/ H2 | 300/200l/s |
| 压缩比 N2/H2 | >108/103 |
| 极限真空（加热） | 10-7 Pa |
| 前级允许压力 | 660Pa |
| 最大N2通量 | 2500sccm |
| 额定转速 | 48000rpm |
| 启动时间 | 4min |
| 入口法兰允许温度 | 120 °C |
| 输入电压 | 200~240 V （± 10）AC |
| 启动功耗 | 0.6kVA |
| 泵重 | 15 kg |
| 控制器重 | 9kg |
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| B71901010 | STPH301C涡轮分子泵 进口ISO100K |
| YT340Z004 | STPH301C涡轮分子泵 进口DN100CF |
| YT3416001 | STPH301CV TMS涡轮分子泵 进口ISO100F |
| YT3416005 | STPH301CV TMS涡轮分子泵 进口DN100CF |
| YT49Z2Z00 | SCU-800控制器 |
| B75130020 | STP控制电缆，5m |
| PT330V000 | TMS连接电缆套件，5m |