应用领域

分析仪器

  • • 电子显微镜
  • • 泄漏检测
  • • 质谱分析
  • • 表面分析

科学研究

  • • 空间模拟
  • • 低温研究
  • • 纳米技术
  • • 镀膜系统

高能物理

  • • 光束线
  • • 加速器
  • • 核聚变
  • • 激光排气

半导体

  • • 真空装载
  • • 真空输送
  • • 计量校准
  • • 光刻
  • • 物理气相沉积(PVD)
  • • 等离子蚀刻
  • • 离子注入
  • • 化学气相沉积(CVD)
  • • 平板显示
  • • LED

工业

  • • 泄漏检测
  • • 电子束焊接
  • • 灯泡和灯管制造
  • • 玻璃镀膜
  • • 制动管路与空调
  • • 制冷系统
  • • 热处理
  • • 电源
  • • 真空炉

 

 

 

 

性能特点

操作简单、携带方便

ELD500开机2min即可工作。用户可通过面板上简单的读数进行详细数据分析。质量轻、一体化,即可操作台安装也可小推车安装。

 

• 图形显示大且清晰,可直接访问关键功能,使用极其简便

• 最小质量仅30kg,方便携带,配件包括小推车,可再放置一台泵和一个氦气瓶

• 可任意装运,可选购有轮的装运箱,方便携带

• 快速启动,从开机到第一个检测值只需107s

可根据用户需求定制

ELD500氦质谱检漏仪有三种型号:FLEX、WET和DRY,外加大量配件,使得ELD500成为多用途型氦质谱检漏仪,几乎满足所有应用。ELD500一键式操作,即可在真空模式下进行精确测量,又可在嗅吸模式下确定泄漏位置。

• 所有型号均配有为便携式泄漏检测而优化设计的性能可靠的涡轮分子泵,型号包括

—WET型,配备油封式旋片机械真空泵

—DRY型,配备适合于抽氦气的隔膜泵

—FLEX型,无前级泵,便于用户配备大型前级泵,如Edwards nXDS涡旋干泵

• 可选远程控制器

—彩色触摸屏,远程显示图形

—通过喇叭或耳机可辨别泄漏指示

—数据记录在本地内存或USB存储器中

—有线、无线两种型号可选

—无线型号最多可同时控制10台泄漏检测仪

• 分流组件,可有效抽空大腔体或被污染的物质

—与WET和FLEX兼容

—允许实际漏率的自动计算和显示

—可从大气压强开始检测泄漏

 

• 嗅吸器具有广泛的引用,可用于增压系统上具体漏点的检测

—标准嗅吸器最远可在距ELD500检测仪4m处操作

—通过嗅吸器延伸器接口可使用50m长的嗅吸器线

高稳定性、高精确度

ELD500不仅集成标准漏孔,而且质谱仪校正高质量,使得其重复性能优异,即可用于对连续测量重复性要求苛刻的生产线上,也可用于漏率要求极低的传统实验室环境。

• 可通过内置漏孔(长寿命)进行全自动、简单、高精度校正

• 可选外部校正标准漏孔,用于符合国际和客户/公司标准的高精度高准确性检漏

• 行业领先的180º质谱仪,保证良好的长期稳定性

• 精检模式中氦气高抽速,使得检漏仪氦气污染后可快速恢复

技术指标

订货信息

货号 描述
D13510903 ELD500 WET, 200-240V,50/60Hz
D13520903 ELD500 DRY, 200-240V,50/60Hz
D13530000 ELD500 FLEX, 100-240V,50/60Hz
D13550100 ELD500 RC,有线遥控
D13550110 ELD500 RC,无线遥控
D13514022 ELD500 RC,有线,8m延长电缆
D13550130 ELD500 RC,无线发射器
D13550300 ELD500 SL,标准嗅吸器线4m
D13550200 ELD500 SL,延长嗅吸器线接口
D13514008 ELD500 SL,延长嗅吸器线5 m
D13514009 ELD500 SL,延长嗅吸器线20 m
D13512183 ELD500 SL,延长嗅吸器线50 m
D13550400 ELD500 分流组件适配器
D13550500 ELD500 运输箱
D13550600 ELD500 没有Ebox的小推车
D13550610 ELD500 有230V Ebox的小推车
D13516555 ELD500 SG,氦气喷枪
D13550910 CL,内置标准漏孔
D13550930 CL,标准漏孔,螺纹接口0.5-1E-7.
D13550950 CL,标准漏孔,HE 4-6
EW3AA5100 从18个月延长至3年
EW5AA5100 从18个月延长至5年