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VPM-5 SmartPirani™ MEMS复合真空压力变送器
采用专利技术的VPM-5 SmartPirani™变送器性能优异，将现行热传导真空规的压力测量范围扩展了1~3个数量级，建立了真空测量的新标杆。丹麦Sens4公司将最前沿的MEMS（微机电系统）传感器技术与全新精密数字信号处理构架和先进的创新测量算法相结合，成功开发出新一代智能皮拉尼变送器— VPM-5 SmartPirani™，再经过一系列的自动精密制造和校准等工艺，使之成为性能优异独特的测量产品。
产品特点
- 范围宽达9个数量级
- 体积小、耐冲击、低功耗
- 前沿数字信号处理技术，极高性价比
- S4-Connect™ USB 编程器轻松配置
- 0-10 VDC可配置输出电压
- RS232 或RS485数字化接口
- StableZero™ 漂移补偿，超稳定的温度特性
- 为过程控制提供固态设定点继电器选项
应用
- 质谱仪
- 扫描电镜
- 热处理真空炉
- 玻璃、光学部件和工具的
- PVD镀膜
- 制冷及制造业
- 半导体工业
- 航天、航空环模设备
变送器集成了MEMS膜片探头，大家熟知的热传导真空规在粗真空范围对气体的依赖问题得以解决，变送器测量精度可以与价格昂贵的电容薄膜规媲美。这样使真空系统排气过程和过压保护的控制都变得更准确及时。
技术指标
| 测量范围（mbar） | |
|---|---|
| 测量 原理 | |
| 1×10-6 mbar ~ 5 mbar | MEMS Pirani 气体热传导原理 |
| 5 mbar ~ 8 mbar | 混合MEMS Pirani 气体热传导/压电读数 |
| 8 mbar ~ 1200 mbar | MEMS 压电电阻膜片 |
| 精度 | |
| 1×10-5 mbar ~ 9.99×10-5 mbar | 读数的25％ |
| 1×10-4 mbar ~ 7.99 mbar | 读数的5％ |
| 8.00 mbar ~ 99.9mbar | 读数的1％ |
| 100 mbar ~ 800mbar | 读数的0.5％ |
| 800 mbar ~ 1099mbar | 读数的0.25％ |
| 1100 mbar ~ 1200mbar | 读数的0.5％ |
| 滞后值 | |
| 1×10-3 mbar ~ 10 mbar | 1% |
| 10 mbar ~ 1200mbar | 0.1% |
| 模拟 输出 | |
| 分辨率 | 16 位（150μV） |
| 更新速率 | 124Hz |
| 响应时间（ISO 19685:2017） | <20 ms |
| 温度补尝 | +10 ~ +50℃ |
| 固态 继电器 | |
| 设定点范围 | 5×10-6 mbar ~ 1200 mbar |
| 触点额定值 | 50V，100mArms/mADC |
| 获得的认证 | UL认证、CSA认证、EN / IEC 60950-1 认证 |
| 环境 条件 | |
| 工作环境、工作介质温度 | 20℃ ~ +85℃ |
| 存储环境温度 | -40℃ ~ +120℃ |
| 烘烤温度（非工作） | +120℃ |
| 最大介质压力 | 10 bar 绝对压力 |
| 安装位置 | 任意 |
| 防护等级 | IP40（EN 60529 / A2：2013） |
| 湿度，IEC 68-2-38 | 98％，非冷凝 |
| 电源 | |
| 供电电压 | 12~30VDC |
| 功耗 | 350mW(最大值） |
| 反极、过压保护 | 有 |
| 内部保险丝 | 100mA, 可热恢复 |
| 认证 | |
| CE | EN61000-6-2, EN 6100 |
| 满足RoHS | EU 2015/863指令 |
订货指南
