出气口附件

出口油雾过滤器用在真空泵的排气口，可以捕捉过滤真空泵排出的油雾，以防油雾污染空气，尤其是在使用气镇或抽气通量大时。如果所抽气体没有污染泵和泵油，还可以将油雾过滤器中捕集的油返回到真空泵中。

• 防止油雾喷射，满足 COSHH 和健康安全要求。

• 使用回油组件将油雾过滤器中的油回流到泵中，减少泵油消耗。

• 油滤芯堵塞时，内部安全阀自动打开。

EMF油雾过滤器有EMF3、EMF10和EMF20三种，适用于E2M18以下的所有小型旋片真空泵，EMF20也能用于低压/低通量的E2M28泵。在DOP （酸二辛脂）测试中，其有效率可达 99.999% ，同样对多氮化合物也很有效。过滤器下半部分呈半透明状，可以方便观测到过滤器内的油量。EMF过滤器还带有一个独特的气味滤芯，可以吸附油味。

MF30油雾过滤器适用于 E2M28泵。在DOP（酸二辛脂）测试中，其有效率可达 99.85%，可以通过油窗监测油位变化。

将油雾过滤器中过滤下的泵油回流到真空泵中，减少泵油消耗。例如，气镇回油组件就可以安装在带气镇的真空泵上。