高压强热电离皮拉尼真空计HPG400

INFICON 高压强热电离皮拉尼真空计, HPG400, 将高压强热电离和皮拉尼传感器

组合在一个简单,小型,经济的组装件中,测量压强范围从 2×10^-6 毫巴至大气压(1.5×10^-6 乇至大气压). HPG400 提供高度可重复和可再生的压强测量用于精确的溅射过程压强控制。

· HPG400 节省成本和工具空间和减少真空系统安装和设置的复杂性

· 高压强热电离真空计提供精确,可靠的压强测量从1 x 10^-5 至 1 毫巴, 用于改进的过程控制

· 用户可选的热离子发射作用于 5 x 10^-2 与 1 毫巴之间

· 皮拉尼联锁保护热灯丝防止过早烧毁

· 可选图形显示器和现场总线接口

· 自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预

· RoHS 兼容性

· 溅射应用于半导体制造,电子学和介质工业中

· 工业镀膜

· 一般真空测量和控制在低至高真空范围

测量范围	大气压~2×10-6
精度	±15%（10-5~1 mbar）
再现性	±2%（10-5~10-1 mbar） ±30%（10-1~100mbar）
允许最大过压	2bar
温度
工作	0~50℃
贮存	-20~70℃
在法兰处烘烤	80℃
卸除电子学	150℃
电源电压	20~28V
输出信号模拟	0~10.2V
测量范围
热阴极	1.5~7.5V
皮拉尼	8.5~9.75V
电压与压强的关系
热阴极	1V/量级
皮拉尼	0.25/量级
误差讯号
热阴极	0.3V
皮拉尼	0.5V
负载电阻最小	10kΩ
接口	RS232
电连接件	D-Sub,15-脚，插头型
电缆长度（最大）	100m
暴露于真空的材料	Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃
内容积KF/CF	20/30 cm3
重量KF/CF	430/695g
保护等级	IP30