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SIPVP 软启动隔断阀
SIPVP软启动隔断阀是一款气动管路阀,带有可换孔板,适合于湍流会引起微粒污染的工艺流程。它由主阀和从阀组成,使得初抽可以缓慢进行,以尽可能减少干扰。主阀和从阀都需要单独的气动连接。
性能特点
• 平均无故障时间(MTTF)可达5000000次
• 抽气受控,适合相应流程
• 铝质阀体
• 一旦停电,可以快速反应
• 提供5mm、6mm和7mm可更换孔板
性能曲线
应用
从阀打开时,气流以较低流速在阀的两侧间流过可更换孔板,实现慢抽速。达到用户设定压力后,主阀根据用户提供的信号打开,实现全通径泵送。
波纹管密封的阀门,单向执行,气动打开,弹簧封闭。产品随附三个可更换孔板,以使泵的性能符合您的要求。标准配置中包含一个微开关,用于指示阀门状态。阀门和微开关都可以加热到100℃以加速脱气,防止气体在阀门内冷凝。
SIPVP软启动隔断阀主要用于半导体行业,但也可用在其它需控抽气的应用中。
几何尺寸
技术指标
阀门操作类型 | 单向,电动打开,弹簧关闭 |
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压力范围 | 1×10-9~2100mbar/ 8×10-10~1575Torr |
最大压差 | |
打开 | 1000mbar/750Torr |
关闭 | 2100mbar/1575Torr |
漏率 | 10-9mbar l/s(10-10Torr l/s) |
气动连接 | Rp 1/8(1/8" BSP) |
气动工作压力 | 2.8~4.2bar |
电器指示器 | 单个微开关 |
微开关电器额定值 | 24V,1.5A AC或DC |
最大循环频率 | 900次/ h |
波纹管可靠性 | 5000000次(MTTF) |
工作环境温度 | 5~100℃ |
最高加热温度 | 100℃ |
材质 | HE30TF 铝 |
O型圈 | 氟橡胶 |
4bar时的开/关时间 | SIPV25P(SIPV40P) |
重量 | |
SIPV25P | 920 g |
SIPV40P | 1760 g |
订货信息
货号 | 描述 |
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C41624000 | SIPV25P软启动隔断阀 气动,波纹管密封,铝 |
C41644000 | SIPV40P软启动隔断阀 气动,波纹管密封,铝 |