进气口附件

FL20K 前置阱适用于洁净的真空系统，防止旋片真空泵的油蒸汽上返到真空系统，以免污染系统。采用活性氧化铝作为吸附剂。

FL20K 特别适用于两级旋片泵，工作真空低于1mbar。将FL20K安装到真空系统端，可以使吸附剂寿命最大化。与其它吸附剂相比，活性氧化铝还能吸附水汽，同时不影响对油雾的吸附，却会加长抽真空时间。为最小化水汽吸附，建议安装旁路阀。

阱体采用铝材质，其内放置吸附剂的网桶可拿出。

• 吸附性高，可达99.7%
• 使用寿命长
• 可再生使用，将使用过的吸附剂放在250℃～300℃烘培2h即可使用

ITO20K入口液体捕集罐将进入真空泵的可凝缩蒸汽最小化。

• 捕集可凝缩蒸汽，减少管路和泵中的水蒸汽

• 防止来自系统的泡沫或飞沫进入真空泵

• 罐体抗腐蚀

• 可观测罐内捕集到液体的多少

• 排水塞手可拧动，易于排水

ITD干燥吸附阱用于在高泵速时抽有限量水蒸气到低蒸汽压，使用五氧化二磷（P2O5）作为干燥剂。Edwards不提供P₂O₅，P₂O₅可吸附20%以上的水，以保持低蒸汽压。

阱体为铸铝，体内有一不锈钢托盘。通过阱体顶部的玻璃盖可以观察干燥剂使用情况。

• 吸附腐蚀性气体，以免侵蚀泵和泵油

• 吸附大分子气体（如用于抽涂有树脂的设备），以免附着而引起堵塞

• 标准吸附剂（活性炭），高吸附性，可吸附本身重量的25%左右，即使抽大量水汽

• 在两级泵上使用时，使用活性氧化铝做吸附剂还可防止返油

• 也具有 ITO20K捕集罐的特点

ITF入口灰尘过滤器用于防止灰尘颗粒进入真空泵。对于泵速为20m³/h 的真空泵，

使用洁净的过滤器，1mbar时泵速降低约20%，10mbar时泵速降低约25%。根据使用情况，可以使用真空吸尘器或洁净空气清洗过滤元件，然后重复使用。

•  厚铝铸件，耐磨损

•  切线入口，加大灰尘颗粒的离心分离

•  过滤效率优于96%（按照BS2831测试，2#颗粒）

EBV20气镇控制阀用于远程控制真空泵气镇。

消音器适用于没有连接到房屋排气系统的nXDS真空泵，它也有一定的过滤作用。