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STP-iX455 涡轮分子泵
STP-iX455涡轮分子泵采用独创的磁悬浮轴承和电机驱动系统，与以前的普通涡轮分子泵相比振动降低了50%。泵体上集成有控制器，不再需要传统的机架安装控制器及连接电缆，无需水冷。
STP-iX455涡轮分子泵对氮气抽速为450l/s，非常适合电子显微镜、测量、光刻以及其它对振动敏感的应用。
性能特点
• 设计紧凑，包括完整的集成控制器
• 独创的自适应磁悬浮轴承系统
• 数字化5轴控制
• 与普通涡轮分子泵相比振动降低了50%
• 可用于腐蚀性工艺流程
• 自动平衡系统（ABS）标准
• 自动减振（AVR）标准
• 列于UL中，具有CE标记，符合SEMI® S2
性能曲线
应用领域
• 金属（如铝）、钨、绝缘体（氧化物）以及多晶硅的等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
• 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
• CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD镀膜
• 溅射
• 离子注入源、射线束泵送端点站
• MBE
• 漫射
• 光致抗蚀剂脱模
• 晶体/晶膜生长
• 晶片检查
• 装载锁真空腔
• 科学仪器：表面分析、质谱、电子显微镜
• 高能物理：射线束、加速器
• 放射性应用：核聚变系统、回旋加速器
几何尺寸
技术指标
| 入口法兰 | ISO100K |
|---|---|
| 抽速 | |
| N2 | 300l/s |
| H2 | 300l/s |
| 压缩比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >1×104 |
| 极限真空 | 6.5×10-6 Pa |
| 最大工作压力 | 1.3×10-1 Pa |
| 允许前级真空 | 67 Pa |
| 额定速度 | 55000rpm |
| 启动时间 | <6min |
| 安装位置 | 任何方向 |
| 冷却方式 | 自然冷却（加热和泵送气体时应水冷或空冷） |
| 润滑油 | 无需 |
| 前级泵 | 240l/min |
| 轴向方向 | <100m/Gauss |
| 径向方向 | <100m/Gauss |
| 环境温度 | 0°C ~40°C |
| 存储温度 | -25°C ~55 °C |
| 重量 | 15kg |
订货信息
| 货号 | 描述 |
|---|---|
| PT640Z010 | STP-iX455涡轮分子泵 ISO100K入口法兰 |
| PT640Z020 | STP-iX455涡轮分子泵 ISO160K入口法兰 |
| PT640Z050 | STP-iX455涡轮分子泵 DN100CF入口法兰 |
| PT640Z060 | STP-iX455涡轮分子泵 DN160CF入口法兰 |
| YT79U1Z00 | iDT-001显示单元 |
| PT64W0Z00 | iPS240电源 |
| PT64Y0B20 | STP-iX455/iPS240连接电缆，5 m |
| PT64Y0A10 | iPS240电源线，3m |