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nEXT系列涡轮分子泵
nEXT分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,抽速的范围为47ls-1至400ls-1, nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,最终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机,内置驱动,与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容,可提供低成本系统集成。nEXT型号还允许用户自主更换轴承和油盒,以降低运行成本。